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當(dāng)前，隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷微縮，先進的集成電路器件已從平面向三維結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變，集成電路制造工藝正變得越來越復(fù)雜，往往需要經(jīng)過幾百甚至上千道的工藝步驟。

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